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異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト Life BEANSセンター九州

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 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems:微小電気機械システム)技術は新しい製造技術として、我が国では90年代、世界に先駆けて産官学での挑戦が始まりました。現在では、このMEMS技術と半導体技術、ナノ技術とを融合させる試みが、大学、産業界を中心に進められています。これにより2000年以降、自動車、各種製造機器、情報機器、通信機器等の小型・高性能・多機能化をもたらし、現在の我が国の産業競争力強化に貢献しています。今後、このMEMS技術がさらに飛躍的な技術の発展を遂げ、その応用範囲を急速に広げることで、国家・社会的課題である「環境・エネルギー」、「医療・福祉」、「安全・安心」分野で新しいライフスタイルを創出する革新的デバイスを創出することが急務とされています。このためには 、基盤技術であるプロセス技術の確立が必須となりますが、従来電子・機械製造技術と完全に異分野とされてきた技術とを融合させる等、、これまでの製造技術の概念・常識を打ち破った技術を創出することが肝要です。

 以上の点から本プロジェクトは、ナノテクノロジー、バイオテクノロジーなどの様々な分野にわたるサイエンスとエンジニアリングを融合させ、将来の革新的次世代デバイスの創出に必要な新しいコンセプトに基づいた基盤的プロセス技術群を開発し、さらにそのプラットフォームを確立することを目的としています。

 

研究目標・研究内容

 技術戦略マップ2007年版MEMS分野のロードマップによる2025年以降の技術等を見越し、研究開発の目的に即した革新的製造プロセス技術を抽出し、その技術を確立することを目標とします。更に、本技術開発を通じて得られた共通基盤製造技術に関わる知識を集約し、データベースを整備します。

 このために以下の研究開発項目について、各項目間の連携にも配慮しながら、研究開発を実施します。

  1. バイオ・有機材料融合プロセス技術の開発
  2. 3次元ナノ構造形成プロセス技術の開発
  3. マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発
  4. 異分野融合型次世代デバイス製造技術知識データベースの整備
  5. 高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発

 
 

Life BEANSセンター九州の取り組み

 研究項目1「バイオ・有機材料融合 プロセス技術の開発」のなかで有機半導体を中心とする機能性有機材料を対象に 1B-(1)有機材料ナノ界面融合プロセス技術、及び1B-(2)バイオ・有機材料高次構造形成プロセス技術の開発に取り組んでいます。

 狙いとするナノ構造は、ナノドット、ナノピラー、ナノポア、ナノ周期構造であり、できあがったナノ間隙に材料を充填、被覆し、、高次構造を形成するプロセスとの組合せでプラットフォーム化し目指します。

 

 

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